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发明名称 DEVICE AND METHOD FOR MEASURING SHAPE
摘要
申请公布号 JPH11304463(A) 申请公布日期 1999.11.05
申请号 JP19980110708 申请日期 1998.04.21
申请人 CANON INC 发明人 NEGISHI MASATO
分类号 G01B5/20;G01B5/012;G01B11/00;G01B21/00;G01B21/20;(IPC1-7):G01B21/20 主分类号 G01B5/20
代理机构 代理人
主权项
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