发明名称 INFRAROTSZENE PROJEKTANORDNUNG GERINGER LEISTUNG UND HERSTELLUNGSVERFAHREN
摘要
申请公布号 DE69509263(T2) 申请公布日期 1999.11.04
申请号 DE19956009263T 申请日期 1995.12.20
申请人 HONEYWELL, INC. 发明人 COLE, BARRETT;HAN, CHIEN
分类号 G01J1/02;H01L27/14;H01L27/16;H01L37/00;(IPC1-7):H01L27/16;G01J5/52 主分类号 G01J1/02
代理机构 代理人
主权项
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