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发明名称 SAMPLING APPARATUS OF SEMICONDUCTOR SURFACE PARTICLES
摘要
申请公布号 KR100227823(B1) 申请公布日期 1999.11.01
申请号 KR19960038069 申请日期 1996.09.03
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD. 发明人 LEE, KYUNG-SOP;KIM, HYUN-JUN
分类号 H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
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