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发明名称 MANUFACTURING METHOD FOR SOI TYPE SEMICONDUCTOR MATERIAL THAT USE ELECTROCHEMICAL ETCHING METHOD AND ACTIVE DRIVE LIQUID CRYSTAL DISPLAY DEVICE
摘要
申请公布号 KR100228719(B1) 申请公布日期 1999.11.01
申请号 KR19960017990 申请日期 1996.05.27
申请人 KOREA ADVANCED INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY 发明人 HAN, CHUL-HEE;LEE, HEE-DUCK;KIM, JAE-KWAN
分类号 H01L21/308;H01L21/02;H01L21/20;H01L21/3063;H01L21/336;H01L21/76;H01L21/762;H01L27/12;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/308 主分类号 H01L21/308
代理机构 代理人
主权项
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