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发明名称 METHOD OF STABILIZING OPERATION FOR A LIQUID METAL ION SOURCE
摘要
申请公布号 KR100228517(B1) 申请公布日期 1999.11.01
申请号 KR19910005487 申请日期 1991.04.04
申请人 SEIKO INSTRUMENTS INC. 发明人 YASAKA, ANTO
分类号 H01J27/02;H01J27/22;H01J27/26;H01J37/04;H01J37/08;(IPC1-7):H01J27/22 主分类号 H01J27/02
代理机构 代理人
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