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发明名称 ETCHING APPARATUS AND ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPH11297667(A) 申请公布日期 1999.10.29
申请号 JP19980094944 申请日期 1998.04.07
申请人 SONY CORP 发明人 NAKAJIMA HIDEHARU
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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