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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH11297708(A) 申请公布日期 1999.10.29
申请号 JP19980095075 申请日期 1998.04.07
申请人 NEC CORP 发明人 SATO FUMIHIKO
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L29/08;H01L29/165;H01L29/732;H01L29/737;(IPC1-7):H01L21/331 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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