MICROCALORIMETER

摘要

Offenbart ist ein Mikrokalorimeter bzw. eine Gruppe von Mikrokalorimetern, die ein Sensorbauteil (1, 2) bestehend aus einem Thermometer (1) mit einem supraleitenden Material und aus einem an das Thermometer thermisch gekoppelten Absorber (2), eine Kühleinrichtung (30), eine Heizeinrichtung (20) und eine Ausleseeinrichtung aufweisen, wobei die Kühleinrichtung und die Heizeinrichtung getrennt voneinander an das Sensorbauteil thermisch gekoppelt sind und zumindest die Kühleinrichtung flächig mit dem Sensorbauteil thermisch gekoppelt ist. Durch diese Anordnung lässt sich ein grosser dynamischer Bereich bei minimaler Heizleistung einstellen, es kann aber ausserdem eine getrennte Optimierung der Kühleinrichtung und der Heizeinrichtung bewirkt werden, wodurch eine verbesserte Energieauflösung bzw. eine Signalbeschleunigung erreicht wird. Derartige Mikrokalorimeter werden beispielsweise bei der Materialanalyse bzw. Qualitätssicherung mittels Röntgenfluoreszenz-Analyse vorzugsweise in der Halbleiterindustrie eingesetzt, sie eignen sich aber auch zur Bestimmung von Molekülen in der Biotechnologie.