发明名称 DEVICE AND METHOD FOR EXPOSURE
摘要
申请公布号 JPH11296922(A) 申请公布日期 1999.10.29
申请号 JP19980094878 申请日期 1998.04.07
申请人 SONY CORP 发明人 ARIMA MITSUO
分类号 G03F7/20;G11B7/26;H01S3/10;(IPC1-7):G11B7/26 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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