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发明名称 Abgleichverfahren
摘要
申请公布号 DE69033154(T2) 申请公布日期 1999.10.28
申请号 DE19906033154T 申请日期 1990.07.02
申请人 TEXAS INSTRUMENTS DEUTSCHLAND GMBH 发明人 STEINHAGEN, WOLFGANG;KAISER, ULRICH;SMAYLING, MICHAEL C.
分类号 H01L21/8247;H01L21/822;H01L21/8234;H01L27/04;H01L27/088;H01L29/788;H01L29/792;H03H3/00;(IPC1-7):H03H3/00 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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