| 摘要 |
<p>Gegenstand der Erfindung ist ein Verfahren und eine Anordnung zur Messung der Struktur eines Objekts. Die Struktur wird durch Berührung mit einem Tastelement abgetastet, dessen Position optisch bestimmt wird. Die nach der Berührung zwischen dem Tastelement und dem Objekt auftretende Kraft wird bestimmt und gegebenenfalls auf gleichbleibende Werte eingestellt.</p> |
