发明名称 DIE BONDER
摘要
申请公布号 JPH11288980(A) 申请公布日期 1999.10.19
申请号 JP19980103595 申请日期 1998.03.31
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 MUTO KENICHI;SUGITA MASAHIRO;INAI SATORU;YAMAGUCHI HARUHIKO
分类号 H01L21/60;H01L21/50;H01L21/52;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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