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发明名称 ZERSTAEUBUNGSQUELLE FUER KATHODENZERSTAEUBUNGSANLAGEN
摘要
申请公布号 DE3724937(A1) 申请公布日期 1988.07.07
申请号 DE19873724937 申请日期 1987.07.28
申请人 BALZERS HOCHVAKUUM GMBH 发明人 WEGMANN,URS
分类号 C23C14/34;C23C14/35;C23C14/54;H01J37/32;(IPC1-7):C23C14/34;G01J1/02 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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