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发明名称 SUBSTRATE HEATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11288943(A) 申请公布日期 1999.10.19
申请号 JP19980090306 申请日期 1998.04.02
申请人 KOKUSAI ELECTRIC CO LTD 发明人 HAMANO MASATSUYA;TAKEKUMA YUKIHIKO
分类号 H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/324 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
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