发明名称 POSITIONAL SLIPPAGE CORRECTING DEVICE OF ELECTRONIC COMPONENT
摘要
申请公布号 JPH11288956(A) 申请公布日期 1999.10.19
申请号 JP19980093088 申请日期 1998.04.06
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 NAKANISHI TOMOAKI
分类号 H01L21/52;(IPC1-7):H01L21/52 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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