| 发明名称 |
GAS INTRODUCTION APPARATUS AND GAS ANALYZER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11281539(A) |
申请公布日期 |
1999.10.15 |
| 申请号 |
JP19980080739 |
申请日期 |
1998.03.27 |
| 申请人 |
HITACHI TOKYO ELECTRONICS CO LTD |
发明人 |
NATORI IWAO;HASUMI KEIJI;KOIKE JOJI |
| 分类号 |
H01J49/04;G01N1/22;G01N27/62;(IPC1-7):G01N1/22 |
主分类号 |
H01J49/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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