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发明名称 WAFER CLEANING SOLUTION AND CLEANING METHOD THEREBY
摘要
申请公布号 KR100224723(B1) 申请公布日期 1999.10.15
申请号 KR19960056836 申请日期 1996.11.22
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD. 发明人 LEE, MOON HEE;JANG, KYU HWAN
分类号 H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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