发明名称 |
Rubbing apparatus and rubbing method |
摘要 |
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申请公布号 |
GB2266967(B) |
申请公布日期 |
1996.01.03 |
申请号 |
GB19930009672 |
申请日期 |
1993.05.11 |
申请人 |
* CANON KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
YASUTO * KODERA;KENJI * ONUMA;MASAAKI * SUZUKI |
分类号 |
G02F1/1337;G02F1/141;(IPC1-7):G02F1/133 |
主分类号 |
G02F1/1337 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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