| 发明名称 |
MANUFACTURING METHOD OF FILM WITH HIGH DIELECTRIC CONSTANT AND THE MANUFACTURING METHOD OF CAPACITORS USING THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR100223939(B1) |
申请公布日期 |
1999.10.15 |
| 申请号 |
KR19960038788 |
申请日期 |
1996.09.07 |
| 申请人 |
HYUNDAI MICRO ELECTRONICS CO.,LTD. |
发明人 |
RHO, CHAE-SONG |
| 分类号 |
H01L27/108;C23C16/02;C23C16/40;H01L21/02;H01L21/8242;H01L29/00;(IPC1-7):H01L29/00 |
主分类号 |
H01L27/108 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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