发明名称 CAP OF VAPOR GROWTH APPARATUS
摘要
申请公布号 KR100224659(B1) 申请公布日期 1999.10.15
申请号 KR19960016738 申请日期 1996.05.17
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO, LTD. 发明人 NAM, KI-HEUM;KO, HYUK-JOON;HAN, OH-YEUN;KIM, YU-KYOUN
分类号 H01L21/22;C23C16/44;C23C16/46;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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