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发明名称 ETCHING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR100225732(B1) 申请公布日期 1999.10.15
申请号 KR19980021405 申请日期 1998.06.10
申请人 ASM JAPAN K.K.;NEC CORPORATION 发明人 WATANABE, HIROHITO;KYOGOKU, MISUSUGE
分类号 H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
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