| 发明名称 |
SAMPLE STAGE AND PARTICLE SIZE-MEASURING APPARATUS USING THE SAMPLE STAGE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11281543(A) |
申请公布日期 |
1999.10.15 |
| 申请号 |
JP19980103354 |
申请日期 |
1998.03.30 |
| 申请人 |
JASCO CORP;MORI YUZO;JAPAN SCIENCE & TECHNOLOGY CORP |
发明人 |
MORI YUZO;WATANABE SHINICHIRO |
| 分类号 |
G01N15/14;G01N1/28;G03F7/20;G03F9/00;(IPC1-7):G01N1/28 |
主分类号 |
G01N15/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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