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发明名称 METHOD FOR FORMING PATTERNS ON A THIN FILM USING A SHADOW MASK
摘要
申请公布号 KR100226054(B1) 申请公布日期 1999.10.15
申请号 KR19970009442 申请日期 1997.03.20
申请人 LG HAANIWEL CO.,LTD 发明人 JANG, KYUNG-HUN
分类号 H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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