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发明名称
Belichtungsapparat und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung
摘要
申请公布号
DE69511920(D1)
申请公布日期
1999.10.14
申请号
DE19956011920
申请日期
1995.01.25
申请人
CANON K.K.
发明人
TAKAHASHI, KAZUHIRO
分类号
G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/20
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
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