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发明名称 INTEGRATED CIRCUIT ELECTRODE STRUCTURE AND PROCESS FOR FABRICATING SAME
摘要
申请公布号 EP0948807(A1) 申请公布日期 1999.10.13
申请号 EP19970952589 申请日期 1997.12.19
申请人 SYMETRIX CORPORATION 发明人 CUCHIARO, JOSEPH, D.;MCMILLAN, LARRY, D.;PAZ DE ARAUJO, CARLOS, A.
分类号 H01L23/52;C23C16/44;C23C16/448;C23C16/455;C23C16/46;C23C16/48;C23C16/52;C23C18/12;C23C18/14;H01L21/02;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/3205;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/04;H01L27/10;H01L27/108;H01L27/115;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
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