发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11274155(A) 申请公布日期 1999.10.08
申请号 JP19980077032 申请日期 1998.03.25
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 NAKAMURA YOSHIFUMI;SAWARA RYUICHI;SHIMOISHIZAKA NOZOMI;KUMAGAWA TAKAHIRO
分类号 H01L23/52;H01L21/3205;H01L23/12;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
主权项
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