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发明名称 METAL WIRING STRUCTURE
摘要
申请公布号 JPH11274301(A) 申请公布日期 1999.10.08
申请号 JP19980092235 申请日期 1998.03.23
申请人 NKK CORP 发明人 TAKAHASHI HIDEYUKI
分类号 H01L23/522;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/768;H01L21/320 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
主权项
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