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发明名称 MEASUREMENT PARAMETER DETERMINING METHOD FOR SCANNING MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH11271220(A) 申请公布日期 1999.10.05
申请号 JP19980075504 申请日期 1998.03.24
申请人 OLYMPUS OPTICAL CO LTD 发明人 KATSUMATA MASAYA
分类号 G01B11/00;G01N21/27;G01N21/64;G02B21/00;(IPC1-7):G01N21/27 主分类号 G01B11/00
代理机构 代理人
主权项
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