| 发明名称 |
MASKING METHOD FOR CHEMICAL GAS PHASE VAPOR DEPOSITION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11269646(A) |
申请公布日期 |
1999.10.05 |
| 申请号 |
JP19980090742 |
申请日期 |
1998.03.18 |
| 申请人 |
KAWASAKI HEAVY IND LTD |
发明人 |
SUEMITSU TAKESHI;NISHIO KOJI;TAKEHARA TAKESHI |
| 分类号 |
F01D9/04;C04B41/87;C23C16/04;(IPC1-7):C23C16/04 |
主分类号 |
F01D9/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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