发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD FOR MAKING IT |
摘要 |
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申请公布号 |
KR100220038(B1) |
申请公布日期 |
1999.10.01 |
申请号 |
KR19960028495 |
申请日期 |
1996.07.15 |
申请人 |
MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
MASURA, MASASMI |
分类号 |
H01L21/3205;H01L21/316;H01L21/768;H01L21/8242;H01L23/522;H01L27/108;(IPC1-7):H01L21/30 |
主分类号 |
H01L21/3205 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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