发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD FOR MAKING IT
摘要
申请公布号 KR100220038(B1) 申请公布日期 1999.10.01
申请号 KR19960028495 申请日期 1996.07.15
申请人 MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA 发明人 MASURA, MASASMI
分类号 H01L21/3205;H01L21/316;H01L21/768;H01L21/8242;H01L23/522;H01L27/108;(IPC1-7):H01L21/30 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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