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发明名称 X-RAY MASK
摘要
申请公布号 KR100223023(B1) 申请公布日期 1999.10.01
申请号 KR19960034589 申请日期 1996.08.21
申请人 KOREA ELECTRONICS & TELECOMMUNICATIONS RESEARCH INSTITUTE 发明人 JEON, YOUNG-JIN;JUNG, JIN-MAN;CHOI, SANG-SU;KIM, BO-WOO;YU, HYUNG-JUN
分类号 H01L21/027;G03F1/14;G03F7/20;G21K5/08;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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