Transport apparatus for thin board-shaped substrates
摘要
<p>코팅 장치 등을 통해 이송되는 박판형 기판, 예를 들면 인쇄회로기판용 이송장치에 있어서, 처리를 간단하게 하기 위해서 기판을 유지하는 프레임(1)이 제공되고, 인장 요소(4)가 프레임(1)의 서로 반대쪽에 놓이는 프레임 부재(2)상에서 서로 이격 배열되며, 인장 요소(4)는 기판의 에지와 결합하고 기판을 인장시키며, 상기 프레임(1)에는 콘베이어 벨트 등에 연결하기 위한 장치(16)가 제공된다.</p>
