发明名称 METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100223020(B1) 申请公布日期 1999.10.01
申请号 KR19960033171 申请日期 1996.08.09
申请人 KOREA ELECTRONICS & TELECOMMUNICATIONS RESEARCH INSTITUTE 发明人 BACK, JONG-TAE;YOO, JONG-SUN;YOO, HYONG-JOON
分类号 H01L21/28;H01L21/322;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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