发明名称 阀喷吐时间测量装置及阀喷吐时间的测量方法
摘要 本发明系提供一种阀喷吐时间测量装置及阀喷吐时间的测量方法,该测量装置包括:一光纤感测器,配设在喷嘴口附近﹔一第一继电器,来自电磁阀的开启(On)讯号使该第一继电器的线圈激磁时,该第一继电器的接点导通;一第二继电器,来自该光纤感测器的遮断讯号使该第二继电器的线圈激磁时,该第二继电器的接点导通;以及一停表(Stop watch),包含一启动(Start)端,连接该第一继电器,一停止(Stop)端,连接该第二继电器。该测量方法为当电磁阀传送一使回吸阀(Suckbackvalve)开启,自喷嘴口喷出光阻的讯号时,也传送一开启讯号使该第一继电器的线圈激磁,同时该第一继电器的接点导通以启动该停表,当该光纤感测器侦测到光阻自喷嘴口喷出,传送一遮断讯号使该第二继电器的线圈激磁,同时该第二继电器的接点导通使该停表停止计时,该停表上的读值即为回吸阀与电磁阀之间的延迟时间。
申请公布号 TW461006 申请公布日期 2001.10.21
申请号 TW089116428 申请日期 2000.08.15
申请人 旺宏电子股份有限公司 发明人 刘新泉
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人 詹铭文 台北巿罗斯福路二段一○○号七楼之一
主权项 1.一种阀喷吐时间测量装置,包括:一光纤感测器,配设在喷嘴口附近;一第一继电器,来自电磁关的开启讯号使该第一继电器的线圈激磁时,该第一继电器的接点导通;一第二继电器,来自该光纤感测器的遮断讯号使该第二继电器的线圈激磁时,该第二继电器的接点导通;以及一停表,包含一启动端,连接该第一继电器,一停止端,连接该第二继电器。2.如申请专利范围第1项所述之阀喷吐时间测量装置,其中该光纤感测器系用以监测光阻自喷嘴口开始喷出到结束喷出的时间。3.如申请专利范围第1项所述之阀喷吐时间测量装置,其中该光纤感测器系用以监测光阻于喷出期间,是否有中断现象。4.如申请专利范围第1项所述之阀喷吐时间测量装置,其中该光纤感测器系用以读取回吸阀的电气讯号与实际光阻喷出的时间差。5.如申请专利范围第1项所述之阀喷吐时间测量装置,其中该停表的读値为回吸阀与电磁阀之间的延迟现象。6.如申请专利范围第5项所述之阀喷吐时间测量装置,其中藉由调整回吸阀的开关速度,可控制该停表的读値大小。7.一种阀喷吐时间的测量方法,包括:配设一光纤感测器于喷嘴口附近;配设一第一继电器;配设一第二继电器;以及配设一停表,其中当电磁阀传送一使回吸阀开启,自喷嘴口喷出光阻的讯号时,也传送一开启讯号使该第一继电器的线圈激磁,同时该第一继电器的接点导通以启动该停表,当该光纤感测器侦测到光阻自喷嘴口喷出,传送一遮断讯号使该第二继电器的线圈激磁,同时该第二继电器的接点导通使该停表停止计时。8.如申请专利范围第7项所述之阀喷吐时间的测量方法,其中该光纤感测器系用以监测光阻自喷嘴口开始喷出到结束喷出的时间。9.如申请专利范围第7项所述之关喷吐时间的测量方法,其中该光纤感测器系用以监测光阻于喷出期间,是否有中断现象。10.如申请专利范围第7项所述之关喷吐时间的测量方法,其中该光纤感测器系用以读取回吸阀的电气讯号与实际光阻喷出的时间差。11.如申请专利范围第7项所述之阀喷吐时间的测量方法,其中该停表的读値为回吸阀与电磁阀之间的延迟现象。12.如申请专利范围第11项所述之阀喷吐时间的测量方法,其中藉由调整回吸阀的开关速度,可控制该停表的读値大小。图式简单说明:第一图A显示圆心附近的光阻厚度比其他位置高出许多的情形。第一图B显示晶片右下方区域的光阻厚度比其他位置厚的情形。第一图C显示在晶片上方,因光阻内部产生气泡,使光阻不连续涂布在晶片表面上的情形。第一图D显示在晶片右下方边缘区域的光阻厚度比其他位置薄的情形。第一图E显示在晶片边缘,未涂布光阻的情形。第二图绘示本发明之阀喷吐时间测量装置之概略图。第三图显示图吸关与电磁阀之间的延迟时间与最大光阻厚度减最小光阻厚度关系的实验结果。
地址 新竹科学工业园区力行路十六号