METHOD AND DEVICE FOR PLASMA TREATMENT OF WORK PIECES

摘要

Das Verfahren und die Vorrichtung dienen zur Plasmabehandlung von Werkstücken. Das Werkstück (5) wird in eine zumindest teilweise evakuierbare Kammer (17) einer Behandlungsstation (3) eingesetzt und das Werkstück wird innerhalb der Behandlungsstation von einem Halteelement (46) positioniert. Das Werkstück wird durch das Halteelement derart beaufschlagt, dass das Werkstück in Richtung einer Kavitätenlängsachse positionsveränderlich geführt wird. Das Werkstück wird darüber hinaus in einer Behandlungspositionierung mit einem Mündungsbereich gegen eine Dichtung gedrückt.