发明名称 Innenlochsägemaschine
摘要
申请公布号 DE69323304(T2) 申请公布日期 1999.09.30
申请号 DE19936023304T 申请日期 1993.11.27
申请人 SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD. 发明人 TERASHIMA, SEIICHI;KITA, MASAO
分类号 H01L21/304;B23D59/00;B23D59/02;B28D1/22;B28D5/00;B28D5/02;C30B33/00;(IPC1-7):B23D59/02;B28D7/04 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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