发明名称 METHOD FOR JUDGING PROCESS ZONE
摘要
申请公布号 JPH11264820(A) 申请公布日期 1999.09.28
申请号 JP19980068417 申请日期 1998.03.18
申请人 OLYMPUS OPTICAL CO LTD 发明人 HASHIMOTO MINEO
分类号 G01N33/543;G01N33/53;(IPC1-7):G01N33/53 主分类号 G01N33/543
代理机构 代理人
主权项
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