用于离子植入系统的离子源和同轴感应耦合器

摘要

揭示的是一种离子源，其具有延长的狭缝，以提供带状的离子束以用于离子植入系统。离子源包括同轴感应耦合天线，以于圆柱形的来源壳罩里进行电浆的RF激发，以及包括配置于壳罩里而沿着圆周的磁铁，以产生方位角之多重尖端的磁场以限制电浆。同时也揭示一种用于壳罩内部的内衬，其于电浆和罩壳外壁之间提供热阻障，如此以缓和或减少电浆限制腔室里的凝结。