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发明名称
摘要
申请公布号 JP2954242(B2) 申请公布日期 1999.09.27
申请号 JP19890241983 申请日期 1989.09.20
申请人 HITACHI SEISAKUSHO KK 发明人 OKADA YUTAKA;MATSURA TATSUJI;MATSUDA TOSHIHIRO;SATO HIROSHI
分类号 H01L21/8238;H01L27/08;H01L27/092;(IPC1-7):H01L21/823 主分类号 H01L21/8238
代理机构 代理人
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