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发明名称
摘要
申请公布号 JP2954205(B1) 申请公布日期 1999.09.27
申请号 JP19980279304 申请日期 1998.09.16
申请人 YAMAGATA NIPPON DENKI KK 发明人 ITO KENICHI
分类号 H01J37/317;G01T1/29;G21K5/04;H01J37/04;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
主权项
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