发明名称 SUBSTRATE TREATING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH11260788(A) 申请公布日期 1999.09.24
申请号 JP19980057815 申请日期 1998.03.10
申请人 DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD 发明人 MIYA KATSUHIKO;IZUMI AKIRA
分类号 H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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