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发明名称 TRANSFER FILM PREPARATION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11260857(A) 申请公布日期 1999.09.24
申请号 JP19980062822 申请日期 1998.03.13
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 SAKAGUCHI TOSHIFUMI
分类号 H01L21/60;H05K3/32;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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