METHOD AND ARRANGEMENT FOR PRODUCING THIN METAL CHALCOGENIDE LAYERS

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Anordnung zur Herstellung dünner Metallchalkogenid-Schichten beispielsweise für den Einsatz als Absorber- bzw. Pufferschichten in Solarzellen. Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren und eine Anordnung anzugeben zur einfachen Herstellung homogener Metallchalkogenid-Schichten in gleichbleibender Qualität unter Beachtung ökonomischer und ökologischer Gesichtspunkte. Die Aufgabe wird erfindungsgemäss durch die Angabe eines Verfahrens mit nachstehend aufgeführten Verfahrensschritten erreicht: 1. Aufbringen einer Lösung einer Metallverbindung auf ein Substrat zur Adsorption von Metallionen, 2. Feuchtigkeitsentzug aus dem Substrat mit den an dessen Oberfläche adsorbierten Metallionen, 3. Einleitung eines chalkogenwasserstoffhaltigen Gases zur Reaktion mit den adsorbierten Metallionen.