发明名称 | 用磁阻效应传感器件测量外部磁场方向的传感装置 | ||
摘要 | 一种借助磁阻效应传感器件来测量外部磁场方向的传感装置,其具有一GMR-多层系统,该多层系统包括至少一个软磁测量层,至少一个较硬的偏磁层,以及至少一个位于其间的非磁性中间层。所述传感器件(E)内含有至少两个传感器部件(E<SUB>1</SUB>,E<SUB>2</SUB>),它们的多层系统是在一个共有的基片上构成的,其磁化方向(m<SUB>1</SUB>,m<SUB>2</SUB>)构成一个不等于0°或不等于180°的角度(α),并且其测量信号(△R1,△R2)被共同处理。 | ||
申请公布号 | CN1229196A | 申请公布日期 | 1999.09.22 |
申请号 | CN98124894.2 | 申请日期 | 1998.09.18 |
申请人 | 西门子公司 | 发明人 | 雨果·冯德伯格 |
分类号 | G01R33/02 | 主分类号 | G01R33/02 |
代理机构 | 柳沈知识产权律师事务所 | 代理人 | 侯宇 |
主权项 | 1.一种借助至少一个传感器件测量外部磁场的方向的传感装置,所述 传感器件具有一个能显示极大磁阻效应(GMR)的多层系统,该多层系统包括 -至少一个软磁测量层, -至少一个具有预定磁化方向的相对较硬的偏磁层,以及 -至少一个位于其间的非磁性中间层, 其特征在于,至少有一个传感器件(E,E′)内含有至少两个传感器部件(E<sub>j</sub>, E<sub>1</sub>至E<sub>4</sub>,E<sub>1</sub>′至E<sub>4</sub>′), -所述传感器部件的多层系统(S)是在一个共有的基片(2)上构成的, -所述传感器部件的磁化方向(m<sub>1</sub>至m<sub>4</sub>)构成一个不等于0°或不等于 180°的角度(α),并且 -所述传感器部件的测量信号(ΔR1,ΔR2)被共同处理。 | ||
地址 | 联邦德国慕尼黑 |