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经营范围
发明名称
Vacuum pumping system
摘要
申请公布号
EP0723080(B1)
申请公布日期
1999.09.22
申请号
EP19950116395
申请日期
1995.10.18
申请人
SGI-PROZESS-TECHNIK GMBH
发明人
AMLINGER, HEINRICH
分类号
F04B23/08;F04B37/14;F04B41/06;F04C23/00;F04C25/02;F04D17/10;F04D19/04;F04D25/16;(IPC1-7):F04B41/06
主分类号
F04B23/08
代理机构
代理人
主权项
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