涂布液体于基板之涂布机

摘要

本发明提供一种用以涂布液体于基板上之涂布机,其包含:一主体;由主体支撑的一工作台,其中一基板设置于其上;一涂布头单元支架,其两端由主体支撑,且在X轴方向延伸超过工作台;至少一涂布头单元,提供于涂布头单元支架之一面上,且具有一喷嘴,液体系透过喷嘴而涂布于设置在工作台上之基板上;一头单元X轴致动器,使涂布头单元相对于涂布头单元支架而滑动于X轴方向;一托架,提供于涂布头单元上,使涂布头单元能够被支撑且可相对于涂布头单元支架而滑动;以及至少一空气轴承,自外部接收气体,且藉此使托架自涂布头单元支架漂浮,以允许涂布头单元可平滑地滑动。