发明名称 Verfahren zum epitaktischen Wachsen eines Halbleiterkristalls
摘要
申请公布号 DE69228467(T2) 申请公布日期 1999.09.16
申请号 DE1992628467T 申请日期 1992.11.25
申请人 RESEARCH DEVELOPMENT CORP. OF JAPAN, TOKIO/TOKYO;NISHIZAWA, JUNICHI;ZAIDAN HOJIN HANDOTAI KENKYU SHINKOKAI, SENDAI 发明人 NISHIZAWA, JUN-ICHI;KURABAYASHI, TORU
分类号 C30B25/02;C30B23/02;C30B25/10;C30B25/12;C30B25/16;H01L21/205 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
主权项
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