VERFAHREN ZUM PHOTOLITHOGRAPHISCHEN METALLISIEREN ZUMINDEST DER INNENSEITEN VON LÖCHERN DIE IN ZUSAMMENHANG MIT EINEM AUF EINER AUS ELEKTRISCH ISOLIERENDEM MATERIAL BESTEHENDE PLATTE BEFINDLICHEN MUSTER AUFGEBRACHT SIND
摘要
申请公布号
DE69508019(T2)
申请公布日期
1999.09.16
申请号
DE19956008019T
申请日期
1995.04.04
申请人
KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V., EINDHOVEN;PHILIPS NORDEN AB, STOCKHOLM
发明人
SPIERINGS, GIJBERTUS;HEIJBOER, WILLEM;REMEEUS, LEO
