发明名称 Verfahren zur Herstellung eines für IGBT geeigneten Halbleiterplättchens
摘要
申请公布号 DE69511343(D1) 申请公布日期 1999.09.16
申请号 DE1995611343 申请日期 1995.08.30
申请人 SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD. 发明人 KATAYAMA, MASATAKE;MOROGA, ISAO;SHIRAI, ISAO;KUMAKI, YOUICHI;KASAHARA, AKIO
分类号 H01L29/78;H01L21/18;H01L21/20;H01L21/205;H01L21/304;H01L21/331;H01L21/336;H01L29/739;(IPC1-7):H01L21/331 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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