发明名称 SEMICONDUCTOR APPARATUS
摘要
申请公布号 KR100220941(B1) 申请公布日期 1999.09.15
申请号 KR19950066067 申请日期 1995.12.29
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO.,LTD 发明人 KIM, HEUI-BUM;AN, CHANG-NAM
分类号 H01L21/027;G03F7/20;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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